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ASML为COORSTEK颁奖——光刻机大佬有多依赖先进陶瓷?
2020年09月24日 发布 分类:行业要闻 点击量:371
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最近,全球光刻机大佬ASML给美国的工程陶瓷企业CoorsTek颁了一个卓越供应商奖。颁奖是欧美大企业的常见行为,用以表达对上游供应商准时提供令人满意货物的认可,有的还包括资金或实物支持。

先进陶瓷

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在光刻和晶圆检验中会用到诸多陶瓷元件,轴承、导轨、内衬、加热、承载、固定,几乎无所不能,无所不在。在CoorsTek而言,其产品有包括物理、化学、原子层沉积用衬板、过滤器等组件;等离子蚀刻设备元件,如用于改善晶圆蚀刻均匀性的聚焦环、气体喷嘴、腔体封盖等;快速热处理和外延加工元件;离子注入设备元件,如陶瓷空气轴承等;光刻和晶圆检测元件,如夹头、晶圆载体等;低压化学气相沉积及传热组件,如挡板、支架、喷头等;化学机械抛光(CMP)用抛光台和抛光板;各种半导体部件加工时的提升、加热、末端接触部件,等等……它们按用途需要具备抗静电、耐高温、耐腐蚀、不膨胀等特点。

据小编初步统计,仅CoorsTek披露的光刻机用先进陶瓷部件就近30种,其中尤以碳化硅(直接烧结、重结晶、气相沉积)为主,还包括氮化硅、氮化铝、刚玉、氧化钇、高纯石英等多种材质及形式的超纯及复合材料。而ASML的陶瓷部件供应商当然不止CoorsTek一家,部件也远不止几十种。随着我国光刻机攻坚征途不断前行,当然会给先进陶瓷产业带来众多机遇!

编译 YUXI


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